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扫描式开尔文探针

扫描式开尔文探针

该扫描开尔文探针系统在垂直方向上移动KP头,以实现KP探针和样品之间的电动接近。 将样品安装在真空吸盘上,使样品在基架上移动150 mm×150 mm。

与单点KP系统一样,KP头可以轻松更换。


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该扫描开尔文探针系统在垂直方向上移动KP头,以实现KP探针和样品之间的电动接近。 将样品安装在真空吸盘上,使样品在基架上移动150 mm×150 mm。

与单点KP系统一样,KP头可以轻松更换。


参数和特殊功能:
吸头和样品之间的电动进样
超过150毫米x 150毫米的电动X-Y移动
使用编码器进行主动位置跟踪
Z方向的步长:625 nm

XY方向的全步长:5 µm /使用微步操作

功函数分辨率:<1 meV,金属端部直径为1.4 mm
最小的吸头直径:0.1毫米
集成法拉第笼;
镀金钢架
包括两个黄金KP
最大尺寸:50厘米(宽)x 60厘米(深)x 25厘米(高)
最大样品尺寸:150毫米x 150毫米
真空样品夹头
包括参考样品:HOPGSi上的AuAl / Au边缘,电位检查

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